產(chǎn)品目錄
聯(lián)系方式
聯(lián)系人：魯工 王工
手機(jī)：13910937780,17600738803
電話：010-69798892
地址：北京市昌平區(qū)回龍觀西大街115號龍冠大廈3層
郵編：102208
郵箱：17600738803@163.com
產(chǎn)品中心
膜厚測量儀
膜厚測量儀為一種光學(xué)系膜厚測量裝置，這個裝置的特點(diǎn)是可以高精度測量1nm一下的極薄膜，也適合測量玻璃等透明基板上的薄膜。ME-210-T 活用了本公司*的偏光Senor 技術(shù)，將不能變?yōu)榭赡埽酝募夹g(shù)是無法測量0.5mm厚的玻璃基板，在這項(xiàng)技術(shù)下，可進(jìn)行極薄膜的高精度測量，舉例來說顯示器用的ITO膜或配向膜的評估，也可運(yùn)用ME-210-T輕松達(dá)成。
高速M(fèi)apping橢偏儀（適用透明基板）ME-210-T
膜厚測量儀
適用透明基板的高速M(fèi)apping橢偏儀 ···可測量透明基板上的光阻膜及配向膜分布
橢偏儀為一種光學(xué)系膜厚測量裝置，膜厚測量儀這個裝置的特點(diǎn)是可以高精度測量1nm一下的極薄膜，也適合測量玻璃等透明基板上的薄膜。
ME-210-T 活用了本公司*的偏光Senor 技術(shù)，將不能變?yōu)榭赡?，以往的技術(shù)是無法測量0.5mm厚的玻璃基板，在這項(xiàng)技術(shù)下，可進(jìn)行極薄膜的高精度測量，舉例來說顯示器用的ITO膜或配向膜的評估，也可運(yùn)用ME-210-T 輕松達(dá)成。
ME-210-T的高精度膜厚分布資料，定會對先進(jìn)的薄膜產(chǎn)品的生產(chǎn)有用途。
ME-210-T的特點(diǎn)
1， 高效的測量速度（每分約1000點(diǎn)：）可短時間內(nèi)取得高密度的面分布數(shù)據(jù)。
2， 微小領(lǐng)域量測（20un左右）可簡單鎖定&測量任一微小區(qū)域。
3， 可測量透明基板
適用于解析玻璃基板上的極薄膜
的測量實(shí)例
涂布膜邊緣擴(kuò)大測量
可階段性擴(kuò)大微小領(lǐng)域，然后獲得詳細(xì)的膜厚分布數(shù)據(jù)
GaAs Wafer 上酸化膜厚的分布測量
縮小膜厚顯示范圍，膜厚差距不大的樣品，也可以簡單評估、比較其分布狀況
的設(shè)備參數(shù)
項(xiàng)目 | 規(guī)格 |
光源 | 半導(dǎo)體激光（636nm、class2） |
小測量領(lǐng)域 | 廣域模式：0.5mm×0.5mm |
高精細(xì)模式：5.5um×5.5um | |
入射角 | 70『deg』 |
測量再現(xiàn)性 | 膜厚：0.1nm 折射率：0.001 ※1 |
大測量速度 | 1000point/min（廣域模式） |
5000point/min（高精密模式） | |
載物臺 | 行程：XY200mm以上 大移動速度：約40mm/scc |
尺寸/重量 | 約650×650×1740mm（W×D×H）/約200kg |
電源 | AC100V |
備注 | ※1：此數(shù)值是以廣域模式測量SiO2膜（膜厚約100mm）其中一點(diǎn)，重復(fù)測量100次后的標(biāo)準(zhǔn)偏差值 |