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  • UTA-IA無掩膜光刻機(jī)

    更新時(shí)間:2025-01-24

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    無掩膜光刻機(jī)UTA系列是將DLP投影儀盒金相顯微鏡相結(jié)合的縮小投影型無掩模曝光系統(tǒng),其傳統(tǒng)系統(tǒng)(用于掩膜光刻的圖案投影曝光系統(tǒng)) 可以使用專門為此目的開發(fā)的軟件來創(chuàng)建想要的圖案。
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